现在各类硅片均匀厚度为 75μm~140μm,运用多线切开方法制成,硅片切开大型化、薄片化、高良率、高效率,是各大厂家要点的进步方向。
但随着切开过程中金刚线不断磨损变细,槽距产生显着的改变,影响硅片的厚度、外表描摹,导致成品率下降。
针对此遍及的问题,优可测光谱共焦位移传感器AP系列供给完美的在线解决方案。
AP系列光谱共焦位移传感器具有高精度、小尺度、小光斑、不受原料影响的特色轻松丈量硅片厚度和外表描摹的细小改变。
传统的线激光对射测厚没办法确保装置时处于彻底同轴的状况,精度有所丢失。而优可测光谱共焦AP系列经过易操作的专用微调云台和辅佐软件,轻松调整光轴,丈量成果更精准,更安稳。
运用三组传感器别离以垂直于线痕的方法放置在硅片的上、中、下侧,实时在线输出硅片的厚度、TTV、线痕和翘曲等重要数据。挑选不良品,防止流入下一道工序,形成更多的本钱丢失。终究进步出厂良率,削减客诉。
不仅仅是太阳能硅片!!新能源电池极片、玻璃、钢板压延,塑料片材、包装薄膜等等场景,均可运用优可测AP系列双头精准在线测厚。