上海超硅：为中国强“芯” 为世界供货

　　在全球半导体产业链中，我国一直扮演着追赶者的角色。作为半导体产业的新星，上海超硅半导体股份有限公司（以下简称“上海超硅”）建设的8英寸及12英寸硅片全自动智能化生产线，具备领先的工程基础设施、先进的工艺配置与布局，为中国半导体产业的发展做出重要贡献，也为全球集成电路制造商提供了高品质、可靠、稳定、长期可信赖的产品和解决方案。

　　半导体硅片是中国“芯”的基建，也是中国新基建的基石之一。在半导体产业链中，硅片作为芯片制造的重要核心主材，在芯片制造中起到关键性的作用。硅片的质量、尺寸、成本等直接影响着芯片的性能和竞争力。

　　所谓的8英寸、12英寸指的是硅片的直径。硅片直径主要有3英寸、4英寸、6英寸、8英寸(200mm)、12英寸(300mm)，还有一直被大家广泛讨论的18英寸硅片。直径越大，在一个硅片上经一次工艺循环可制作的集成电路芯片数就越多，每个芯片的成本也就越低。因此，更大直径硅片是硅片制造技术的发展趋势。但硅片尺寸越大，对微电子工艺设备、材料和技术的要求也就越高。

　　纵观全球硅片市场，大尺寸半导体硅片制造一直被少数几家厂商掌握，如日本信越（Shin-Etsu）、日本SUMCO三菱住友株式会社、中国台湾环球晶圆（Global Wafers）、德国Silitronic，中国大陆始终在半导体材料这一环节被卡住脖子，突破基础材料生产制造瓶颈，逐步的提升材料品质，持续投入先进的技术研发，与全球半导体集成电路先进制程需求同步，是实现全球集成电路持续发展的重要基础。

　　上海超硅成立于2008年，是国内集成电路厂商中最早涉足大尺寸硅片研发与生产的企业之一。公司自主研发并制造了关键的晶体生长装备，还定制化开发了12英寸硅片关键加工工艺装备。

　　公司12英寸全自动智能化生产线亿元，项目包括综合研究院、12英寸全自动智能化生产线、先进装备研发中心、人工晶体研发中心等。目前该生产线英寸抛光片和外延片生产能力，并仍在持续产能提升之中。

　　上海超硅的基本的产品包括8英寸、12英寸集成电路抛光硅片、外延片、氩气退火片、SOI硅片等。企业具有上海松江全自动智能化12英寸硅片（含薄层外延片）生产基地、重庆8英寸硅片（含外延片、氩气退火片、SOI片等）生产基地和上海松江晶圆再生生产基地，并与一流高校共建半导体材料先进的技术联合实验室。

　　上海超硅已掌握包括高纯半导体单晶生长炉自主设计与集成、高成晶率单晶直拉生长自动控制、高精度低损耗半导体硅片加工，以及基于抛光硅片的特殊用途硅片加工等核心技术。

　　基于上述硬核科技积累，上海超硅在上海建设的全自动智能化12英寸硅片生产线是全世界内最先进的半导体硅片生产基地之一；上海超硅在重庆建设的8英寸硅片产线是全世界最领先的以轻掺为主、涵盖LOW COP、COP FREE、氩气退火、外延、HIIS等高端8英寸硅片的生产线之一。

　　除了不断推出具有竞争力的产品和服务，上海超硅还热情参加国际竞争与合作，不断拓展市场占有率，通过与国际一流客户的交流合作，反哺并提升国内半导体产业基础创新与产品研发。

　　目前，在全球排名前20的集成电路制造商中，已有19家成为上海超硅的正式客户。具体而言，其客户包括台积电、联电、格罗方德、中芯国际、华虹集团等国际知名晶圆代工企业，韩国海力士、日本铠侠、美国镁光等国际存储芯片有突出贡献的公司，荷兰恩智浦、德国英飞凌、美国德州仪器、日本索尼等国际半导体IDM龙头企业。

　　上海超硅为我国半导体产业注射了一剂强“芯”针，有效改善了国内半导体大硅片完全依赖国外的现状，填补国内半导体大硅片在先进制程方面供应的行业短板，有效推动了我国集成电路这个“现代工业粮食”产业的自主可控与更快发展，并为全球集成电路快速地发展贡献持续不断的技术进步力量。（推广）

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